摘要: Miles研究小组受Ormia ochrace寄生蝇声定位机理的启发,通过集成信号的衍射光栅读取技术,从原理上、方法上对现有硅微传声器进行了极大的拓展,赋予了硅微传声器极强的指向性,其指向性基本达到了理想的压差传声器的8字型,可有效抑制干扰和噪声,并克服了现有硅微传声器的如寄生电容、蚀刻粘连等诸多局限性。这一发展必将给硅微传声器带来更广泛的应角范围。